Автоматизация процессов

Компания ИГАС Инжиниринг осуществляет автоматизацию и переоснащение компонентов технологического оборудования для процессов травления (ICP) и осаждения (CVD, PECVD, PVD, ALD, MOCVD) микро и нано структур в области полупроводников, оптоэлектроники, микромеханики, прецизионной оптики
Мы предлагаем решения основанные не только на имеющемся у заказчика оборудовании, но и подбираем обновление компонентов по необходимым параметрам. Наша компания создает программные решения основанные на 5 летнем опыте работы с ведущими мировыми производителями полупроводникового оборудования (Oxford Instruments, AJA International, SPTS, Veeco, Corial) Мы используем в своих работах исключительно высококлассные компоненты.
На выбор заказчика управление системы может осуществляться с сенсорной панели или с ПК. Мы осуществляем интеграцию оборудования от признанных лидеров производства компонентов для полупроводниковой промышленности. Запорная арматура и системы автоматического поддержания давления VAT. Аналитическое оборудование Inficon, Hiden Analytical. Генераторы Advanced Energy, Comdell, Lambda. Приготовление газовых смесей любых концентраций и измерение давления осуществляется на оборудовании MKS Instruments. Привода и шаговые двигатели Mclennan. Манипуляторы перемещения подложек и кассетницы Brooks Automation.

Состав системы

Системы автоматизации производства ИГАС Инжиниринг основаны на контроллерах ведущих мировых производителей: Siemens, Mitsubishi Automation, National Instruments. Программные решения обладают высокой гибкостью и могут быть в последствии обновлены (например, при изменении конфигурации оборудования, добавлении новых компонентов в систему). Управляющая программа осуществляет мониторинг параметров машины в реальном времени и осуществляет полный контроль в случае выбора автоматического режима управления. Все текущие параметры, ошибки, предупреждения и аварийные состояния машины сохраняются в журнале событий. Для процесса ведется отдельный журнал. Регулируемые права доступа к функциям.